• Parmi SPI 2500
  • Functional Specification

    Motorized Stage Stroke : Y

    20 mm

    Working Table Manual Stroke : X

    315 mm

    Scanning Interval

    10, 20um

    Measurable Range

    6.4(X) x 4.8(Y) x 0.5(Z) mm

    Sensor Translation (Z-Axis)

    35 mm

     

    Dimensional Specification

    Body Dimension

    520(W) x 673(D) x 363(H) mm

    Working Table Dimension

    520(W) x 400(D) mm

    Body Weight

    36Kg

    Electrical Requirement

    AC 100~240V, 50/60Hz
     
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